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产品名称：半导体用高纯石英管

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石英管尺寸公差 Dimensional Tolerance(table Ⅱ)
外径范围
Range of OD 		外径
OD 		壁 厚
WT 		偏壁度
Siding 		椭圆度
Ellipsticity		 弯曲度
Camber/1220mm
≤5mm ±2.0% ±10% 12% 2.0% 2.5mm
6.00-15.00mm ±1.25% ±8% 10% 1.5% 2.5mm
15.00-20.00mm ±1.25% ±10% 15% 1.5% 2.5mm
20.00-25.00mm ±1.25% ±10% 15% 1.5% 3.0mm
25.00-30.00mm ±1.35% ±12% 15% 1.5% 3.0mm
30.00-80.00mm ±1.5% ±14% 15% 2.0% 3.0mm
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