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影响半导体石英玻璃炉管使用质量的内外在因素
新闻来源:    点击数:6171    更新时间:2021-12-15 11:03:33    收藏此页



石英玻璃炉管在使用过程中影响其使用质量的内在因素和外在因素

1.管子的材质
一般来水哦, 石英玻璃管纯度越高,壁厚合理,杂质和羟基含量越低,石英玻璃炉管的石英寿命越长。

2 管子生产和加工过程中的技术和工艺
一般,二次成型工艺深加工比一次成型工艺技术更复杂,成熟,加工出来的石英管质量相对稳定性较高,脱羟基工艺生产的石英玻璃管比未脱羟基工艺生产的石英玻璃管质量要稳定,二部法比一部法,气炼发和电熔连熔法生产的石英炉管半导体石英玻璃的工艺要先进,技术可靠性高,石英玻璃制品的稳定性好。

3 降温和加温的速度
降温的和加温的速度要合理,不宜过快,容易造成石英玻璃管加快破裂和老化,过慢则影响生产效率。

4 石英管的正确安装

5 石英舟槽进出炉管的速度
石英玻璃仪器 石英舟 石英槽 石英玻璃载体速度要合理 过快过慢均影响石英玻璃制品的稳定性。

6 真空抽速

 
 
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